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OLUS (Dummy Load Port System)

装置側はOHT とE84通信でFOUPをOLUSにLoad/Unloadする。
RFおよびIR通信媒体選択が可能。
製品特徴
4-Port FOUP OLUS：
  • 製品の寸法: L-150 W-55 H-200 cm
  • 製品の重さ: 100 KG
  • 標準仕様: E84通信，11.7 インチ、フルカラーのタッチパネル(HMI)，4色のLEDアラームライト
  • FOUP認識システム: RFID，BCR
2-Port FOUP OLUS：
  • 製品の寸法: L-120 W-50 H-120 cm
  • 製品の重さ: 70 KG
  • 標準仕様: E84通信，7 インチ、フルカラーのタッチパネル(HMI)，4色のLEDアラームライト
  • FOUP認識システム: RFID，BCR
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製品寸法図

製品特徴

4-Port FOUP OLUS：
2-Port FOUP OLUS：

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