OLUS (Dummy Load Port System)
機台端透過E84與OHT通訊，將晶舟盒(FOUP)下貨(Load)至OLUS，或自OLUS卸載(unload)晶舟盒，方便操作員取、放特定的貨。系統上支援Barcode條碼或RFID之識別。
產品規格
4-Port FOUP OLUS：- 產品尺寸: L-150 W-55 H-200 cm
- 產品重量: 100 KG
- 標準規格: E84通訊，11.7吋全彩觸控式電腦 (HMI)，四色信號燈
- 識別系統: RFID，Barcode
- 產品尺寸: L-120 W-50 H-120 cm
- 產品重量: 70 KG
- 標準規格: E84通訊，7吋全彩觸控式電腦 (HMI)，四色信號燈
- 識別系統: RFID，Barcode
產品 照片
產品 規格
4-Port FOUP OLUS：- 產品尺寸: L-150 W-55 H-200 cm
- 產品重量: 100 KG
- 標準規格: E84通訊，11.7吋全彩觸控式電腦 (HMI)，四色信號燈
- 識別系統: RFID，Barcode
- 產品尺寸: L-120 W-50 H-120 cm
- 產品重量: 70 KG
- 標準規格: E84通訊，7吋全彩觸控式電腦 (HMI)，四色信號燈
- 識別系統: RFID，Barcode
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