External N2 Tool Load Port

対象Load PortのDock plateに改造作業を行い及び制御モジュールが追加すると流量固定及びか流量可変制御のパージに実現できます。 湿度センサでFOUP内の湿度値を検知しFDCシステムにアップロードします。 また、 FOUPが開ける際に高湿気体を入るので、この時Air curtainで同時に導入すれば各ウェハに相対湿度を抑えることが有効となるため推薦です。