Internal N2 Tool Load Port
対象Load PortのDock plateに改造作業を行い及び制御モジュールが追加すると流量固定及びか流量可変制御のパージに実現できます。
湿度センサでFOUP内の湿度値を検知しFDCシステムにアップロードします。
また、
FOUPが開ける際に高湿気体を入るので、この時Air curtainで同時に導入すれば各ウェハに相対湿度を抑えることが有効となるため推薦です。
製品特徴
- メインコントローラーの寸法: L35(cm)x W9(cm)x H60(cm)
- サブコントローラの寸法: L17(cm)x W9(cm)x H60(cm)
- メインコントローラーの重さ: 20 kg
- サブコントローラの重さ: 15 kg
- 標準仕様: 流量計，7インチ、フルカラーのタッチパネル(HMI)
製品特徴
- 同一性のパネル、メンテナンスしやすい。
- 半導体業界で95%のLoad PortにN2パージ改造できる。
- EntegrisやShin-EtsuのFOUPに対応。
- 流量固定及び流量可変制御(MFC)。
- 特殊な塗料Nozzleでホコリやパーティクルの防止対策。同時にソフトでClean purge機能の搭載
- 酸素欠乏の安全装置（Interlock、環境測定の酸素計など）。パージ時、安全対策の徹底。
- 全ての装置に検品報告書を提供する。
- GUI画面
- GUIから流量や湿度のトレンドを作成できる。
サービス内容
- 全方位型のカスタマーサポート。半導体ファウンドリのオペレーターに即時対応。
- Synergy Tekのチームは各面から分析し、現場調査・ヒアリングを通じて診断し、法的基準・顧客の要望に基づき、最適な補修・改造プランを提案し、設計・施工を行います。
- 研究室で多数ブランドのLoad PortやFOUPにシミュレーション及び社内のトレーニング
- システム統合で既設の窒素パージLoad Port側はフローや湿度をアップロードできないことを改善
製品寸法図
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製品特徴
- メインコントローラーの寸法: L35(cm)x W9(cm)x H60(cm)
- サブコントローラの寸法: L17(cm)x W9(cm)x H60(cm)
- メインコントローラーの重さ: 20 kg
- サブコントローラの重さ: 15 kg
- 標準仕様: 流量計，7インチ、フルカラーのタッチパネル(HMI)
関連 製品
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External N2 Tool Load Port
