External N2 Tool Load Port

改造客戶端機台Load Port之盤面，將客戶的盤面新增充氣孔位，並配上控制模組，實現固定流量或可變流量(MFC)氣體充填。
透過溫濕度感測器，偵測晶舟盒(FOUP)內濕度值，上傳客戶監控系統(FDC)。
多項監控項目包括流量、濕度、壓力等，幫助客戶提高製程良率。