E-Rack with N2 Purge

FOUP対応、パッケージ用マスク対応。BCR/RFID仕様選択。
窒素/XCDAパージ技術を搭載し複数の対象に対応でき歩留まり率向上。
ニーズに応じカスタムサイズや棚数を調整できる。