Reticle SMIF Pods N2 Purge
RFID対応のレチクルSMIFポッドのN2・XCDAパージシステム。
パージ状態はインジケーターの色で示してわかりやすい。
製品特徴
- 製品の寸法: L-60 W-50 H-160 cm
- 製品の重さ: 40 kg
- 標準仕様: 4色のLEDアラームライト
- FOUP認識システム: RFID, Barcode
製品寸法図
製品特徴
- 製品の寸法: L-60 W-50 H-160 cm
- 製品の重さ: 40 kg
- 標準仕様: 4色のLEDアラームライト
- FOUP認識システム: RFID, Barcode
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