FOUP/ FOSB N2 Purge System

多仕様FOUP対応のパージシステム。ファウンドリとファウンドリで運送する際に乾燥状態を維持し歩留まりの向上。

製品特徴

製品の寸法: L-70 W-63 H-140 cm
製品の重さ: 80 kg
標準仕様: Semi E84対応，流量可変制御(MFC)
検知選択: 湿度値，酸素値
FOUP認識システム: RFID，BCR

製品特徴

カスタマイズのパネル設計で、複数のFOUPを使用するFabに対応できる
OHT側のFOUP Load動作をAuto・Manualの切替対応
Info Padセンサ搭載しFOUP/ FOSB種類をすぐ判別
BCR/RFIDも対応できる
流量可変制御(MFC)
特殊な塗料Nozzleでホコリやパーティクルの防止対策
使用者の要望によりプロセスのパラメータを設定Process Program ID (PPID)
Semi E84対応
フルカラー操作パネル
流量や湿度、酸素などのトレンドチャートを作成できる

製品寸法図

製品特徴

製品の寸法: L-70 W-63 H-140 cm
製品の重さ: 80 kg
標準仕様: Semi E84対応，流量可変制御(MFC)
検知選択: 湿度値，酸素値
FOUP認識システム: RFID，BCR

関連製品

Webでのお問い合わせ