OHC /OHB/ ZFS N2 Purge System

用於自動化物料搬運部門(AMHS Dept.)，將原來的ZFS (Zero Footprint Storage) 或 OHB (Overhead Buffer) 之晶舟盒承載盤面進行改造，並加上控制箱體，使晶舟盒(FOUP)能在該承載盤填充氮氣或XCDA等氣體。降低盒內濕度與氧氣含量、延長Q-Time而設計的產品。一台控制箱一次控制四個充氣盤，且箱體小，不占空間，安裝快速。整合經驗包括DAIFUKU，MURATEC等自動化領導品牌。

產品規格

控制箱尺寸: L-46 W-25 H-37 cm
控制箱重量: 18 kg
流量控制: 固定流量，可變流量(MFC)
品質控制: 濕度檢測，氧濃度檢測
識別系統: RFID, Barcode

硬體特色

電控箱體積小，不佔空間，安裝快速 (尺寸: L-46 W-25 H-37 cm)
一台電控箱一次控制四個充氣盤
支援Socket通訊模式
支援Barcode或RFID識別系統
固定流量或可變流量控制(MFC)
特殊鍍膜軟墊，防微塵粒子沾黏
全彩7吋人機操作螢幕

軟體特色

可遠端更新PLC程式
可依據使用者之需求設定各種製程參數Process Program ID (PPID)
友善的GUI操作介面，資訊清楚瞭然，且具Event/ Log/ Chart 等豐富功能
可輸出流量、濕度、O2曲線圖表
依據濕度或O2回溯值做流量閉迴路控制

產品照片

產品規格

控制箱尺寸: L-46 W-25 H-37 cm
控制箱重量: 18 kg
流量控制: 固定流量，可變流量(MFC)
品質控制: 濕度檢測，氧濃度檢測
識別系統: RFID, Barcode

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