N2 Stocker Retrofit
改造晶舟盒(FOUP)倉儲系統儲位並加上控制箱，使Stocker儲位可充填N2或XCDA，使暫存之晶舟盒在倉儲系統內仍維持盒內低濕度，確保晶圓生產良率。
產品規格
- 尺寸: 客製化
- 改造儲位數量: 全部Stocker儲位皆可進行改造
產品 特色
- Stocker儲位改造
- 模組化底盤設計
- 改造後不影響原先Teaching之定位
- 支援單一儲位Barcode或RFID識別系統
- 固定流量或可變流量控制(MFC)
- 特殊鍍膜軟墊，防微塵粒子沾黏
- 可輸出流量、濕度、O2曲線圖
產品 照片
產品 規格
- 尺寸: 客製化
- 改造儲位數量: 全部Stocker儲位皆可進行改造
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