FOUP/ FOSB N2 Purge System

產品 特色

1. 客製化盤面，滿足混用晶舟盒(FOUP)之廠區。
2. 可人員手動充填或OHT下貨充填。
3. 具有Info pad placement sensor識別抵達的晶舟盒(FOUP)/ FOSB種類。
4. 支援Barcode及RFID識別系統
5. 可變流量控制(MFC)
6. 特殊鍍膜軟墊，防微塵粒子沾黏
7. 可依據使用者之需求設定各種製程參數Process Program ID (PPID)
8. 支援E84通訊.
9. 全彩電腦操作介面
10. 可輸出流量、濕度、O2曲線圖

產品 照片

產品 規格

• 產品尺寸: L-70 W-63 H-140 cm
• 產品重量: 80 kg
• 標準規格: E84通訊，MFC流量控制
• 品質控制: 濕度檢測，氧濃度檢測
• 識別系統: RFID, Barcode

相關 產品