E-Rack with N2 Purge

電子料架，包括: 晶圓載具電子貨架，光罩盒料架。結合氣體充填技術，確保成品良率無虞。 支援Barcode或RFID產品識別系統，提供小流量N2或XCDA氣體充填，使晶舟盒(FOUP)內維持低氧低濕度狀態。一台可一次充填多個晶舟盒(FOUP)，提高充填效率。外型,尺寸及Port數可依需求客製化。