Inline Stocker N2 Purge System

在半導體晶圓倉儲系統(Stocker)內崁入的氮氣填充設備。
在預留的Stocker空間內鑲入客製化的氮氣填充設備，並使用訂製的外蓋板將Stocker開口處封起。
此產品應用之目的在於降低晶舟盒(FOUP)或FOSB盒內濕度及氧氣濃度，幫助產品良率提升。