EUV Pod OLUS with N2 Purge

產品 特色

1. 可設定為Input Port 或 Output Port
2. 支援Barcode及RFID識別系統
3. 可變流量控制 (MFC)
4. 特殊鍍膜軟墊，防微塵粒子沾黏
5. 支援E84通訊
6. 全彩11.7吋觸控電腦操作介面
7. 可輸出流量曲線圖

產品 照片

產品 規格

• 產品尺寸: L-135 W-57 H-190 (不含信號燈) cm
• 產品重量: 90 KG
• 標準規格: MFC流量控制，E84通訊，11.7 吋全彩觸控式電腦，四色信號燈
• 識別系統: RFID，Barcode

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