Reticle Pod N2 Purge System
使用N2或XCDA充填光罩盒設備，維護光罩品質。支援RFID光罩ID識別系統，操作員可依設備上三色燈號得知目前充填狀態，配合門板升降動作判斷為Input 狀態或 Output 狀態。
產品規格
- 產品尺寸: L-50 W-50 H-160 cm
- 產品重量: 40 kg
- 標準規格: 數位流量計/ E84通訊/ 四色信號燈
- 識別系統: RFID, Barcode
產品 照片
產品 規格
- 產品尺寸: L-50 W-50 H-160 cm
- 產品重量: 40 kg
- 標準規格: 數位流量計/ E84通訊/ 四色信號燈
- 識別系統: RFID, Barcode
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